Журнал микро/наноструктурирования, материалов и метрологии ⇐ Васина Википедия

[wiki_en]

*''Журнал микролитографии, микрообработки и микросистем'' (2002–2006)
*''Журнал микро/нанолитографии, МЭМС и МОЭМС'' (2007–2020)

'''''Журнал микро/наноструктурирования, материалов и метрологии''''' — рецензируемый научный журнал, издаваемый ежеквартально SPIE. Он охватывает науку, разработки и практику микролитографии | микро- и нанолитографии | процессов нанопроизводства и метрологии. Основанный в 2002 году под названием «Журнал микролитографии, микропроизводства и микросистем», он был впоследствии в 2007 году было переименовано в «Журнал микро/нанолитографии, МЭМС и МОЭМС». В 2021 году название журнала было изменено на его нынешнее название.
Главный редактор журнала — Гарри Левинсон (HJL Lithography).
==Абстрагирование и индексирование==
Журнал реферативен и индексируется в:
*Текущее содержание/Коллекция электроники и телекоммуникаций
*Текущее содержание/Инженерное дело, вычислительная техника и технологии
*Текущее содержание/Физические, химические и науки о Земле
*Информационные службы EBSCO|Базы данных EBSCO *Ei Compendex *Inspec *Расширенный индекс научного цитирования *Scopus

Согласно «Отчетам о цитировании журнала», импакт-фактор журнала в 2022 году составит 2,3.

* Ежеквартальные журналы
Научные журналы SPIE
Научные журналы, основанные в 2002 году
Англоязычные журналы
Машиностроительные журналы
Полупроводниковые журналы
Журналы по материаловедению

Подробнее: https://en.wikipedia.org/wiki/Journal_o ... _Metrology