Лазерное индуцированное глубокое травление ⇐ Васина Википедия

[wiki_de]

'' 'Лазерное индуцированное глубокое травление' '' (LIDE), на немецком языке, индуцированная лазерной глубиной '' ', является процедурой микроориентации стекла. Двухэтажный процесс обеспечивает точное производство микроструктур с высоким соотношением сторон в тонких стеклянных субстратах, в результате чего избегаются дефекты, такие как микроризы или вспышки. 'Новые решения через новую обработку стекла' '. В: «Практика строительства». 27 сентября 2019 г., с. 36. Полупроводниковые жилищные технологии и высокочастотные устройства связи.
== Происхождение и развитие ==
Технология была введена в 2017 году LPKF Laser & Electronics в качестве технологии для точной обработки стекла в области микросистемных технологий и в полупроводниковых приложениях. '' индуцированное глубокое травление (LIDE) LPKF. IC упаковка с тонким стеклом. '' In: '' 'Markt & Technik' ''. 8 декабря 2017 г. < /ef>

В 2018 году Lide использовался для производства тонких стеклянных масок для органического диода светильника | OLED -дисплеи. Они представляют собой потенциальную альтернативу обычным мелким металлическим маскам, которые используются для структурированного разделения материала OLED.
В мае 2020 года было заключено лицензионное соглашение с помощью Nippon Electric Glass (NEG), согласно которому NEG использует технологию LIDE для массового производства стеклянных компонентов, таких как покрытое стекло, субстратное стекло и другие стеклянные компоненты. Ан, Су Мин Ан: '' '독일 lpkf, негат 와 기술 계약체결 계약체결 "[lpkf, Германия, подписано. Lide Technology с неги] ''. В: «Электронные времена» (корейский). 13 мая 2020 года.
== Процедура ==
LIDE позволяет выработать глубокие конструкции в тонком стекле с высоким соотношением сторон более 1:10, что означает, что могут быть реализованы структуры до 5 мкм или меньше. Стеклянный чип -корпус в объеме производства. '' In: '' Markt & Technik ''. 20 августа 2021 года. < /Ef>

=== Лазерная модификация ===
Один лазерный импульс изменяет стекло локально в соответствии с желаемой макеткой. Лазер проникает либо через всю толщину субстрата, либо до индивидуально определяемой точки. При производстве вертикального стекла Lide модифицирует стекло, чтобы изменить свое изотропное травление при анизотропии, что точное генерация отверстий с точно определенными размерами, такими как 2–3 мкм.
=== Глубокая оценка ===
На втором этапе вся стеклянная поверхность подвергается изотропному процессу травления изотропного. Лазерные, обработанные области намного быстрее, чем необработанные, что приводит к образованию точных микроструктур.

Подробнее: https://de.wikipedia.org/wiki/Laser_Ind ... ep_Etching